Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid PDF
Sylvia HagedornDiese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird. Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht. Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.
Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid. Finden Sie alle Bücher von Cuvillier Verlag. Bei der Büchersuchmaschine eurobuch.com können Sie antiquarische und Neubücher vergleichen und sofort zum Bestpreis bestellen. 9783736949850. [ED: 1], Auflage, eBook Download (PDF), eBooks,
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Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (Innovationen mit Mikrowellen und Licht) | Sylvia Hagedorn | ISBN: 9783954049851 | Kostenloser Versand für alle Bücher mit Versand und Verkauf duch Amazon. SYLVIA HAGEDORN - ZVAB